靶材為什要測量密度?秒準靶材密度計的優勢在哪里?
靶材本身的致密度(du),靶材的致密度(du)很(hen)高時,不易吸附(fu),無空隙,背靶易脫落(luo)。
為(wei)了減少靶材(cai)(cai)固體中(zhong)(zhong)的(de)氣孔,提高(gao)(gao)濺射薄膜(mo)的(de)性(xing)能(neng),通常要求靶材(cai)(cai)具有較高(gao)(gao)的(de)密(mi)度。靶材(cai)(cai)的(de)密(mi)度不(bu)僅影(ying)響濺射速率,還影(ying)響著薄膜(mo)的(de)電學和光(guang)學性(xing)能(neng)。靶材(cai)(cai)密(mi)度越(yue)高(gao)(gao),薄膜(mo)的(de)性(xing)能(neng)越(yue)好。此外,提高(gao)(gao)靶材(cai)(cai)的(de)密(mi)度和強度使(shi)靶材(cai)(cai)能(neng)更好地承受濺射過程(cheng)中(zhong)(zhong)的(de)熱應(ying)力。密(mi)度也是靶材(cai)(cai)的(de)關鍵(jian)性(xing)能(neng)指標之一。
靶(ba)(ba)材(cai)(cai)在(zai)生(sheng)產(chan)制造的過程中需要(yao)(yao)對其密度進行(xing)測試(shi),采(cai)用的方法是阿基米德原理,儀器自動計算(suan)出靶(ba)(ba)材(cai)(cai)密度g/cm3。目前生(sheng)產(chan)的測試(shi)采(cai)用人(ren)工對靶(ba)(ba)材(cai)(cai)進行(xing)測量(liang),由于(yu)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)重量(liang)大(da),操(cao)作不便,不利(li)于(yu)手動計算(suan)測試(shi)密度。因此需要(yao)(yao)一種專用密度儀進行(xing)操(cao)作。因此解決(jue)這一問題就顯(xian)得十分(fen)必要(yao)(yao)。
如何測量靶材的密度?
陶瓷靶材密度測試儀MAY-AE10應用于各種靶材材料。按材質分類可分為金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按應用領域分類靶材可分為半導體芯片靶材、平板顯示靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材等等都可以測密度。
原(yuan)理(li):根據ASTM B311、B328;MPIF 42、57;JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738。可適用于采用阿基米德原(yuan)理(li)浮力法(fa),準確直讀量測數(shu)值。
秒準靶材密度計經過市場10幾年的驗證以及不斷的研發升級,現已具備以下特點:
1、數(shu)顯直(zhi)讀(du),無需人工計算(suan),直(zhi)接顯示密度和體積等參數(shu)。
2、全彩7寸觸摸屏操作,自帶打印功能,可編輯帶公司名稱物料編碼的數據報告。
3、采用梅特勒原裝進口傳感器,測量精準、操作簡便、穩定耐用。
4、具(ju)有實際水溫補償功能,可適應測試環境變化。
5、可設定媒介液密度,使用水作介質,也可使用其它液體介質。
6、采用SUS304一體水(shui)槽,耐腐蝕耐摔,底部設計(ji)靜音(yin)萬向(xiang)輪,便(bian)于(yu)移動。
7、含USB通(tong)信接口,方便與電腦(nao)連(lian)接。
8、內置靜音排水系統,方便換水。
功能描述:
1、直接讀取(qu)靶材工(gong)件(jian)的密度和體積。
特別備注:秒準靶材密度計支持非標定制,已經為多家用戶實現自動化密度測試儀非標定制,搭配機械手/吊機,自動完成密度測試,自動輸出數據。
技術參數:
品牌
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MAYZUM(保修期:三年)
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型號
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MAY-AE10
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MAY-AE30
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MAY-AE50
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MAY-AE80
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最大稱重(zhong)
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0.1g-10kg
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0.1g-30kg
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0.5g-50kg
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2g-80kg
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密度精度
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0.001 g/cm3
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密度范(fan)圍
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0.001~99.999g/cm3
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水槽尺寸
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水槽(cao)尺(chi)寸:1.2*1*1.2m(長寬高),依(yi)據客戶工(gong)件尺(chi)寸定(ding)制(zhi)最終尺(chi)寸
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測(ce)量時間
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約5秒
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測量步驟(zou)
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放水中吊籃上,按保存鍵密度和體積直接顯示,并打印數據報告。
多孔材料、粉末測試步驟依據(ju)國標(biao)請參(can)考隨機說明書
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結果顯(xian)示
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密度,體積(ji),比(bi)重值
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參數設定(ding)
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水溫設定、媒介(jie)液體密(mi)度設定
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校正方(fang)式(shi)
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一鍵自動校正
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輸(shu)出方(fang)式
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RS-232C標準通信接口、方便測試(shi)數據輸出與打印
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溫濕度范(fan)圍
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允許環境溫度:0~45℃;允許相對濕度:80%以(yi)內
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電(dian) 源
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AC~220V / 50HZ(出口電源需定制(zhi),訂貨前提前注(zhu)明即可)
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操作面板(ban)
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7寸觸(chu)摸屏
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標準(zhun)配件
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①主機一(yi)(yi)臺(tai)、②測(ce)量(liang)組件一(yi)(yi)套、③電源變壓器一(yi)(yi)個、④打印(yin)紙1卷(juan)
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